計算了半導體潔(jie)凈(jing)室在AGV PORT打開、關(guan)閉不同狀態下室內的(de)靜態氣流(liu)場分布，以(yi)及考慮吊車運(yun)動時對(dui)氣流(liu)的(de)影響程度，對(dui)潔(jie)凈(jing)室的(de)指標進(jin)行(xing)了評(ping)價(jia)，其室內外壓差、流(liu)線(xian)平行(xing)度、非單向流(liu)度和(he)下限(xian)風速均滿足(zu)設計標準(zhun)，確(que)定了EFU的(de)設置(zhi)方案。

半導(dao)體潔凈(jing)室室內(nei)氣(qi)流(liu)組織設計需(xu)要根據做要求的(de)潔凈(jing)室級別，確定采用何(he)種送(song)風(feng)、回風(feng)形(xing)式以及送(song)風(feng)口、回風(feng)口的(de)位置(zhi)布置(zhi)等，需(xu)要保證靜態工(gong)況(kuang)和(he)動態工(gong)況(kuang)都(dou)達到(dao)設計標(biao)準。潔凈(jing)室內(nei)部結(jie)構(gou)復(fu)雜(za)，包含眾(zhong)多零部件及孔(kong)板結(jie)構(gou)，還要考慮吊(diao)車運動的(de)影響，模型的(de)簡化、處(chu)理和(he)網格劃分十分困難。

進行(xing)CFD仿真計算(suan)，其(qi)前處理模塊(kuai)可以快(kuai)速的進行(xing)幾何清理和(he)簡(jian)化，并自動生(sheng)成高質量(liang)的體網(wang)格(ge)，結(jie)合網(wang)格(ge)重構功能計算(suan)得到了(le)靜態和(he)動態工況下的速度場、壓力場分布和(he)其(qi)他性(xing)能指標。

客戶以(yi)(yi)往的(de)(de)設(she)計(ji)多是參照設(she)計(ji)規范(fan)和工(gong)程師的(de)(de)個人(ren)經驗，常常會(hui)出現(xian)實際建造的(de)(de)潔凈(jing)室(shi)達不(bu)到設(she)計(ji)要求的(de)(de)情況(kuang)，采用CFD仿真方法進行輔助設(she)計(ji)，可以(yi)(yi)在(zai)建造之前對方案(an)進行驗證(zheng)并優化，處(chu)理靜(jing)態工(gong)況(kuang)外還(huan)可以(yi)(yi)考慮(lv)動態的(de)(de)影響，極大的(de)(de)提升了方案(an)設(she)計(ji)的(de)(de)可靠性。